三星电子正研发取代碳化硅聚焦环的新材料

时间:2022-03-02 14:53:27       来源:品玩

品玩3月2日讯,据DIGITIMES报道,三星电子正在研发取代碳化硅(SiC)聚焦环(Focus Ring)的新材料。业界消息指出,硬度表现优秀的碳化硼(B4C)成为三星有力备选方案。三星为将B4C打造成新一代聚焦环材料,正在进行相关研发。聚焦环在半导体产业中,主要用于硅片蚀刻工艺,除了能固定硅片之外,也有维持电浆体密度、防止硅片遭污染等功用。

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